特种CCD传感器及系统研发策略研究
分析大感光像素特种CCD的工艺特点及对系统整体性能参数的影响。提出满势阱光电子数与CCD阱面积A和阱深W的积有关,CCD分辨间隔取决于光电子统计涨落,大像素提高了CCD感光灵敏度和动态范围,对工艺定位要求低,可单件或少量生产,适合我国现有人员、技术、设备和资本经济实力。用DSP+CPLD、FPGA器件和VI软件制作控制器,强化系统整体配置;寻找各行各业需要、技术对路的特种CCD开展研发,实行定单生产,滚动积累开发,走差异化发展道路,是发展我国IT技术产品的策略。
MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法
针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法,并采用该方法制备了阵元间距小至150μm的密排二维换能器阵列。阵列中每个声学单元均为由上电极、压电材料(PZT)层、下电极和支撑层组成的多层膜结构,并通过其弯曲振动模式实现超声波的发射和接收。制备样品的测试结果表明,采用该方法制作MEMS压电超声换能器阵列,具有阵元间距小、工艺流程可靠、成品率高、一致性好、工作频率(2.45MHz)与设计值(2.5MHz)的吻合度高等优点,适用于医学成像等高频超声成像系统。
激光超声检测表面硬度分析
和传统的压电技术相比,激光超声系统具有不需要耦合剂、非接触、以及能对曲面和复杂形状的几何形体进行检测等优点。近年来,在无损检测领域内得到了广泛的应用,文中介绍了利用激光超声来确定表面硬度的方法,表面波的传播具有纵波和横波的特性,实验结果表明,表面波波速随硬度的增加而降低,轴类零件在交变载荷下工作时,共表面要比心部承受更高的应力,表面硬化是为了增加其强度、硬度、抗疲劳强度,硬化层的特性通常由其硬度和





