随着微电机系统（MEMS）在众多领域的广泛应用，各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理，设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器，开展了光热微驱动的实验研究，证明了光热微驱动的可行性，并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能。

在主动检测法中采用直接测量装置，对触点式气动自动测量装置的结构设计和工作原理以及在外圆磨削加工中的应用进行了阐述。触点式气动测量装置利用量杆结构上的弹性变形，由光电控制器和光电传感器控制浮动气动量仪，达到自动检测工件的目的。