提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置，通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明，新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。

当前激光干涉仪的信号处理系统主要采用单片机技术和4细分辨向电路，存在硬件电路复杂、易受外界干扰、难以实现复杂算法等问题。因此，提出了将DSP技术引入到激光干涉仪的信号处理系统中，设计了一种用于处理干涉条纹信号的专用电路。具体研究了改进的8细分算法，并给出了系统的主要程序。实验结果表明，基于DSP的激光干涉仪具有电路简单、功能强大等优点，进一步提高了激光干涉仪的测量精度和分辨力。

文章先扼要介绍ISO 16063-11中所列3种激光干涉振动一次校准方法,以及用零差式迈克耳孙激光干涉仪正弦逼近法实现加速度的灵敏度和灵敏度相移的校准,然后在此基础上,从原理、结构和使用等方面介绍外差式激光干涉振动一次校准,以及PTB如何用外差式激光干涉技术较大幅度地提高与扩展振动校准频率、校准位移等技术.

　本文描述一种用双频激光干涉法测量转角的新方法,在玻璃楔形平板上加工反射式闪耀光栅,用该光栅楔形平板作为一个新的部件,以代替反射用的角锥棱镜,不仅简化了测量装置,减小了干涉仪的尺寸,而且装调方便。该装置不但可以测量转角,还可用于测量360°整周角度。本文给出了测量原理和测量装置,还给出了减小和补偿测量误差的方法。用于转角测量的实验表明,该装置的测量精度高,测角分辨力可达0.02"。

介绍了一种光栅测量系统动态位置精度评定的方法,以现有的光栅测长仪为研究对象,高精度HP5529A双频激光干涉仪作为校准系统.利用光栅测长仪编码器产生的A-quad-B脉冲信号触发激光干涉仪进行同步动态数据采集,由激光干涉仪软件来获取和显示位置误差数据,并绘制更真实详细的动态误差图.最后对动态误差实验结果进行分析和讨论.

利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT分析干涉条纹方法,分析并解决了测量端面长度标准中条纹图的处理技术,应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度,而且大大地提高了测量结果的精度,并给出了最典型的端面长度标准量块的干涉条纹小数部分的实测结果.

文章介绍了国际标准的激光干涉绝对法冲击校准技术和目前德国PTB正在从事的瞬态冲击力校准系统的研究发展状况,指出加速度的直接复现是实现包括冲击加速度和瞬态冲击力在内的绝对法动态校准的基本前提,因此,这两种绝对法校准技术具有完善的计量原理和相似的计量特点,能够完成冲击传感器和动态力传感器的高精度动态校准.

分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括X射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。

针对利用激光跟踪仪对数控加工中心进行线性测量成本过高的问题,开发了一种三维激光干涉球杆仪。利用激光干涉法实现距离测量,设计全新测量光路,并通过伸缩杆的被动拉伸实现跟随测量。采用双球铰运动副为激光器的空间姿态调整提供保证,并搭配激光器、镜组微调等装置实现随时对光。利用ANSYS Workbench软件对装置进行建模并验证模型精度。建立机构运动学方程,利用MATLAB对运动空间进行仿真。通过实验验证激光光路,证明了该设计的可行性。

为了实现低频段水下发生目标频率的准确识别,搭建了一套激光干涉测量系统。在相位生成载波解调技术的基础上,提出了一种改进的基于相位生成载波反正切算法的解调方式。在光学暗室下利用分立光学元件搭建了一套干涉实验系统,在参考光路引入水面波动作为高频载波,利用水表面漫反射的主反光与参考光干涉获得干涉信号。以相位生成载波解调技术的反正切算法为基础,引入高频载波信号的一倍和二倍正弦混频。通过功率比较的算法在两组正交信号当中筛选功率较强的一组进行解调,避免了载波初相位导致的正交信号消隐引起的解调失真。最后,在模拟的低频大幅度海浪扰动情况下进行了探测实验,取得了良好的解调效果。实验结果表明水下声源的低频探测下限约为30Hz;100Hz以上频段的频率探测精度优于1Hz。改进的反正切解调算法能够避免解调失真,具...