微细加工技术是精密加工技术的一个分支，是加工微小尺寸零件的多种技术方法的总称。是各种传统精密加工方法的延伸和半导体加工技术的进一步创新发展而来的一系列加工技术．．微型机械与电子技术紧密结合，使种类繁多的微型器件相继问世，广泛地应用于人类生活的众多领域，．对工农业、信息、环境、生物医学、空间、国防等领域的发展将产生重大影响，微细加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景……