结合我国可机加工陶瓷材料及其精密加工技术现状,提出独具特色的小型十六极阵列质谱计分析器的镶嵌式结构.根据分析器电极排列几何精度与质量范围、分辨率之间关系,提出设计要求,给出镶嵌式分析器整体和关键部件的结构设计,以及关键部件的测量结果.分析器的体积和重量为15.4 cm3和50.3 g,质量范围和质量分辨率为50 amu和1 amu.最后,展望了镶嵌式小型十六极阵列质谱计的应用前景.

微细加工技术是精密加工技术的一个分支，是加工微小尺寸零件的多种技术方法的总称。是各种传统精密加工方法的延伸和半导体加工技术的进一步创新发展而来的一系列加工技术．．微型机械与电子技术紧密结合，使种类繁多的微型器件相继问世，广泛地应用于人类生活的众多领域，．对工农业、信息、环境、生物医学、空间、国防等领域的发展将产生重大影响，微细加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景……