针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2 μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.

阀门的阀瓣在填料箱内作活塞式滑动,不能泄漏和卡阻,装配精度要求较高。故设计制作了气动压力台用于阀门阀瓣和填料箱的装配,使得装配过程更简便,装配质量稳定、良好且装配效率高。

研发一种综采工作面整组液压支架起吊装置,能够实现液压支架的整体吊起,以及放下时与平车螺栓孔的对正固定,整组支架的起吊、及左右移动全部靠液压油缸的动作来实现。该装置解决了以往支架回撤、搬家倒面时,需要在工作面解体再拉到顺槽装车的难题。其应用能降低工人的劳动强度、提高工作效率、消除安全隐患。

液压支架在装配过程中,立柱柱头孔必须与顶梁柱窝完全对正才能进行装配,为此设计了液压支架立柱柱头孔转动台,提高了工作效率和工作安全性。