该测量仪在测量过程中以保持杠杆处于平衡位置为前提,X-Y向、Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器,X-Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位.本文论述了仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理.

设计了一种应用于轴承表面轮廓测量仪中的操纵杆控制电路,该电路与计算机数字控制技术相结合,大大提高了仪器操作的灵活性、方便性和安全性。同时,该技术可广泛用于圆柱度仪、三坐标仪及大型圆度仪等具有二维、三维控制系统的测量仪器。

针对触针式表面轮廓测量仪角度测量误差校准过程中存在的角度量块定位问题，设计了一种角度测量误差校准用夹具。在校准表面轮廓测量仪角度测量误差过程中，该夹具提供了一种角度量块相对于仪器的快速、精确定位手段，保证了校准精度，提高了校准效率。