讨论了扫描针显微镜作为一种显微工具的优势和不足，介绍了把ＳＰＭ应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于ＳＰＭ的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择，从而引导超精密加工的发展。

通常利用注射模塑成形和注射压缩成形技术制做的厚度不等且大口径的塑料透镜，其密度和折射率不够均匀，存在很大的残余应力和双折射，面形精度不够理想。利用这样的成形法，通常模具温度要设定在所用树脂的热变形温度以下。因而，经向模具内腔注射充填的熔化树脂形成固态、液态混合状，温度和压力存在梯度。而且采用注射模塑成形法，为防止产生“气孔”，树脂被注射充填后，需进行维持压力的“保压”操作，树脂取向的原因即源于此。进而采用注射压缩成形法，模具喷口处(树脂入口处)的树脂固化后，力求使内腔体积压缩完成高精度复制，但由于树脂的固化，无法实施压力均匀的传输。

     始于60年代后期的超精加工技术，如今已在许多领域得以实用化;而超精密测量技术，则是评价超精加工技术的必不可少的手段。

高速铁路的发展，对与之配套的轴承提出了更高的要求，需进一步提高滚锥轴承的寿命，降低振动和噪声。通过采用“正交试验法”对滚锥轴承套圈滚道超精加工工艺参数进行试验研究，选择出滚锥轴承套圈滚道超精加工合理工艺参数，从而有效降低了滚锥轴承滚道表面粗糙度，提高了滚锥轴承滚道表面质量，取得了较好的效果。

滚子轴承滚道超精研机是我公司为适应客户对有凸度滚道超精研的需要，于近年来开发出的新型机床。新机型设计采用油石大往复小振荡技术，伺服电机驱动油石座滑板进行大往复运动，油石振荡头采用静压轴承的结构实现油石的振荡。即采用改变窄油石在滚道宽度内的往复速度和油石振荡频率，来实现有凸度滚道的超精研。

我们研制了一种新型超精加工设备,用来修磨加工六面顶压机油缸的内孔。通过采用有效可行的工艺,特殊的超精磨具,保证了不易加工的大直径设备内孔的尺寸精度与表面粗糙度的要求。用该设备加工近百台压机油缸,经检验全部合格。该设备结构简单、维护方便、使用寿命长、有效地解决了六面顶压机油缸泄露问题,值得推广使用。

液压系统中常有类似外筒的工件它用来产生和增加压力保证液压系统正常工作.外筒内孔应保证高精度、低粗糙度及圆柱度等要求.