基于IPC+TwinCAT 3平台的巡边框胶涂布控制系统设计

简介

为优化整面式涂布工艺,提高光刻胶材料利用率,减小曝光显影面积,设计基于“IPC+TwinCAT 3”平台的巡边框胶涂布控制系统。搭建“IPC+TwinCAT 3”控制系统硬件平台,运用经典控制策略,实现9轴精密运动,运用视觉检测,实现了巡边框胶涂布和偏差测量。以IPLUI为平台,设计等级权限的人机交互,最后完成了小批量涂布试验。结果表明:该系统运行稳定,框胶膜厚处于0.6~2μm标准范围,优化后材料利用率高于97%,提高了框胶涂布的自动化水平。