同轴集成式宏微驱动器宏动结构的优化设计

简介

以同轴集成式宏微驱动器为对象,以减小其宏动力波动值为目标,在建立其数学模型的基础上,采用COMSOL软件对其结构参数进行优化。通过仿真不同宏动位置时宏动力输出情况,得到5个不同参数对该驱动器宏动力稳定性的影响程度。利用正交试验方法设计出最佳的优化方案,并进行试验验证。结果表明:5个因素对宏微驱动器稳定性影响的强弱程度依次为永磁体厚度dy、宏动线圈厚度dx、气隙大小q、宏动线圈长度Lx、永磁体长度Ly;当dy=4.5 mm、Ly=138 mm、q=5 mm、dx=5