用于三坐标测量机的低成本转角误差测量方法

简介

为以较低成本同时测量2个轴上的2个转角误差,提出一种适用于三坐标测量机或机床的转角误差测量方法。对固定在CMM滑架上的附加载质量对转角误差的影响进行分析及验证。采用干涉型高分辨率角位移传感器实现同时测量CMM滑架的2个转角误差,并且仅需在滑架上固定1个质量较小的平面镜,即可减小CMM滑架上的负载。为验证该方法的正确性,分别测量了2台示例性CMM的2个转角误差,并将所得结果与用标准激光干涉仪测量得到的值进行比较。实验结果表明:所提方法和使用标准干涉仪得到的测量结果之间的最大差值不超过4μrad,能够以较低成本满足CMM转角误差测量要求。