利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试，并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁弹簧常数的方法．实验中严格界定了欧拉细长梁的条件，在分析了纳米梁组纵横比对测试结果影响的基础上，讨论了如何修正弯曲测试结果．弯曲测试得到了纳米梁的平面模数，并进一步推算氮化硅材料的杨氏模量．测试结果验证了基于原子力显微镜系统的弯曲方法测试纳米薄膜材料杨氏模量的可行性．

为了提高MEMS微接触式测头的性能，系统开展了测头的结构设计和参数优化．根据测头结构各个部分的设计目标，提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案．基于测头结构的力学模型，提出了结构参数对测头性能的影响机理，并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化，获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线．

电容式微加工超声传感器（cMUT）是近年来出现的新型器件，具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点，大有取代传统的压电式超声传感器之势．介绍了cMUT的基本结构和工作原理，提出了一种新型传感器结构．针对此结构建立了两个有限元模型，通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知，cMUT可工作在一阶频率处，其振动频率为4．582MHz；利用另一个三维模型进行静态和谐波分析，得出传感器的塌陷电压为213V，当对cMUT施加45V直流偏置电压和1．6V交流电压时，其谐振频率为4．147MHz，薄膜的最大位移为0．447μm．

为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中.基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm.

微机电系统（MEMS）测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈，其中一个重要方面就是MEMS器件运动特性的高速可视化。基于计算机控制的频闪干涉测试景统，丈中提出了一种时间轴和空间轴双向解包裹的干涉条纹分析方法，实现了MEMS器件离面运动参数的精确测量，并与微结构平面结构图像模板相结合，可以进行MEMS器件全视场运动的分析，达到了纳米级分辨力。

微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动MEMS器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1 MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.

为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100 nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.

为了在连续血糖监测中实现微量组织液的透皮抽取和收集，采用微流体技术，利用聚二甲基硅氧烷（Polydimethyl—siloxane，PDMS）设计加工了组织液透皮抽取装置。首先，采用模塑法加工得到组成装置的4层PDMS。接着，采用氧等离子体键合方法键合PDMS获得能够产生真空负压的文氏管，用于注入生理盐水、抽取组织液和收集组织液的腔体，控制流体传输的气动阀以及连接各部分的微管路4部分装置。然后，测量文氏管的输出负压和气动阀的关闭压强。最后，检验了装置抽取和收集组织液的功能实现情况。结果显示，将220kPa（绝对压强）的氮气通入文氏管的输入端口，在文氏管的喉部端口获得了92kPa（绝对压强）的真空负压。另外，只需低于65kPa（相对压强）的压强就可以关闭采用PDMS薄膜加工的常开型气动阀。该装置可在气动阀的控制下，利用文氏管产生...

描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.

为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动.系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有效冻结MEMS器件的面内和离面运动,能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征,达到了纳米级分辨力.通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量,在扫频和扫幅两种工作模式下,配合强大的数据分析软件,给出器件运动的幅频和相频特性曲线,为分析器件的动态性能提供了可靠数据.