光学共焦显微镜现己广泛地应用于微机械、生物样品、材料及微电子器件的三维测量,但经典的光学共焦显微镜由于原理性限制,其分辨率与精确度远低于接触式传感器.现结合双频激光干涉仪和共焦显微镜的优点,使激光干涉共焦显微镜不仅横向分辨率高,而且使纵向分辨率达到0.1nm,扩展不确定度U95=13.4 nm,使之能测量纳米量级形位变化,而且测量值直接溯源至激光波长.

提出一种可同时测量膜厚和折射率的新型快速高灵敏度薄膜测量方法－外差椭偏纳米薄膜测量技术，并给出了理论分析与设计、实验结果和误差分析、采用弱磁场塞曼激光器，用相位直接比较法得到０．１８°分辨率，是迄今结果最简单的新型椭偏仪设计，测量过程高速全自动化，适合于现场连续测量。理论上可达到较高的测量精度。

以UG NX为平台,建立了液压换管机整机结构的三维实体模型,并基于NX Nastran对其关键零件夹紧块进行了有限元分析与优化,使其结构更合理,减轻了整机重量,具有重要的工程实用价值。