腔光与机械系统在耦合作用下引发的光离子灵敏度高,在高精度测量等前沿科技领域有广阔的应用前景。首先在纳米级别下将半导体晶体材料加工成梁腔结构,并用仿真分析的方法对其机械性能进行模拟分析,然后根据模拟分析结果对元器件尺寸进行调整并依据该尺寸制作元器件,最后应用仿真和实验的方法对元器件的机械性能进行了验证,分析了仿真结果与实验结果产生差异的原因。

针对伺服阀对于压力极为敏感的测试要求,采用中央油源取代多台独立油源是液压行业多年来一直亟待突破的技术。本文依照产品测试项目和测试条件,建立了半物理仿真模型,并根据仿真测试结果对影响伺服阀试验台压力稳定性的关键因素进行了分析,按照分析结果进行了原理样机的搭建,并降低了油源的能耗水平,最终的测试结果中央油源的压力稳定性满足设计要求,可实现多台阀类产品在同一油源下的无干扰测试。