本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。

讲述了用PSD构造柔性臂末端振动测量系统的设计与实现过程 ,包括测量原理 ,光学系统的构造 ,PSD的后续处理电路和系统标定等。介绍了一个基于PSD的双连杆柔性机械臂末端振动的测量系统及实验结果。测量准确度达 0 .1mm。

随着科学技术的发展,纳米微米技术也随之得到发展,尤其近些年内,国内外在微制造技术的发展取得了很大进展,如LIGA电铸技术及IC技术,使得某些微机械、微马达、微传感器、微加速度计及微型泵等得以实现,并有的已经成为商品。微型泵的研究,近几年发展也很快,它是微循环系统,微分析系统等等不可缺少的主要器件,国外已有很大突破。本文拟介绍德国KARLSRUHE研究中心,微结构技术研究所所研制的一种新型薄膜微型泵。