一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统
介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统。系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪。介绍了光源的选择,系统的设计以及信号的采集和处理方案。采用这套绝对测量系统,可以实现长度为2m以内的绝对距离测量,定位精度可以达到±0.5μm。
一种基于FPGA的外差干涉仪动态数据采集方法
介绍了利用现场可编程门阵列(FPGA)来实现外差干涉仪动态数据采集的信号处理方案.在这套方案中,在锁存位置计数信息的同时,还可以启动两路模拟信号的A/D转换,并将结果写入缓存,实现了动态数据的采集.
-
共1页/2条



