针对以往关于两点法测量直线度的文献中要求两传感器端部严格对齐的问题，进行了数学分析和计算机仿真，证明对齐误差并不影响最后的误差分离准确度，同时可在一定程度上降低对传感器安装误差的要求。

根据ＥＳＴ的基本原理，用被测深孔的内表面取代通常采用的导轨作为传感器的移动基准，通过对三点法测量结果的误差分析，得出了其测量结果不确定度的数学表达式，同时指出了该方案的可行性判据及其应用条件。该方法应简单，成本较低具有一定精度，能有效解决工程实际中深孔类零件母线直线度的测量难题。

利用测量简类零件直线度得到数据构造被测表面的三维模型。用ＥＳＴ（Ｅｒｒｏｒ Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ）测量多条母线的直线度，利用测量起止端面上的数据点求出最小二乘轴线和为工件的实际轴线。通过坐标轴旋转，将各条母线的直线度测量数据转化到以实际轴线为ｚ轴的空间坐标系下，进而构造出被测表面的三维模型。计算机仿真证明通过械横坐轴旋转可有效地消除直接构造带来的表面变形。