对几中纳米技术进行了综述。纳米计量仪器由三大部分组成：位移系统、计量系统和探测系统，文中论述了这三个部分的现状及发展趋势。最后介绍了计量院的计量型原子力显微镜及兼容型扫描探针显微镜的特点和技术指标，并给出了测量实例。

一、前言电子衡器作为一种计量仪器在市场经济为主导的现代社会发挥了越来越大的作用,同时随着其在各行各业中的应用不断深入,对于电子衡器产品的要求也越来越高，其进一步的发展趋势是融合测试技术、控制技术与计算机技术、通信技术，向智能化、网络化和小型及嵌入式发展。这就要求在设计电子衡器时将其作为一个系统来统筹考虑其功能、可靠性、成本、功耗等问题。