在测量平晶工作面的平面度时，温度不仅对平晶平面度的大小有影响，而且直接影响对平晶表面形状（凹凸）的判断。文章给出了温度对平晶平面度影响的实例分析，并提出了两种平晶表面形状判断的辅助方法，且对JJG28—2000《平晶》检定规程中平晶表面形状判断方法进行了必要的补充说明。

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求。本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式。

在JJG28-2000平晶检定规程中，对平晶有效直径d范围内的平面度和（2／3）d范围内的平面度均有规定的要求。但该规程附录D中的计算公式和图示并不是平晶有效直径d范围内的平面度测量方法，且没有给出（2／3）d范围内的平面度测量方法，该文将对此问题进行分析，最后给出了符合现行规程要求的新测量方法，补充了计算公式。

针对航空发动机石墨密封组件结构特点和平面度测量技术要求,提出应用光波干涉法对航空发动机密封件平面度误差实施检测专用装置的设计、测量、平面度判读等。

设计了一种基于平晶扫描的轴类零件直径测量系统。激光透射旋转的平晶产生扫描平行光．扫描光偏移光轴的距离是入射角及平晶自身参数的非线性函数，光电检测及计时电路获得测量周期和对应被测工件边缘的信号跳变时间，根据时间与转动角度的比例关系将所得时间量换算成人射角度，最终实现直径测量。利用刀口法进行标定实验，分别采用参数拟合法和RBF神经网络法确定实际非线性测量方程，完成了各测头的标定，进一步实现多测头系统标定，在100mm的测量范围内，3δ重复性误差为0．006mm，测量误差为±0．010mm。

为实现平晶平面度的快速测量，运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理，再利用所有像素样本点（约4000个）的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径玩。对平晶表面不同的检定点，测量软件均能根据其实测玩值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率，且大大降低了劳动强度。