应用哈特曼一夏克（H-S）波前检测仪检测大数值孔径（NA）透镜时，需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定。为了制作出满足要求的高质量针孔，本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析，以获得最优针孔加工参数。基于矢量衍射理论，在会聚高斯光束照射下，计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响，衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化。分析计算显示，在NA为0．6时，为了使相对于理想球面波的波峰波谷值（P-V）偏差不大于0．005^（x-193nm），在实际针孔的加工制作中，应选取材料铬，并取厚度200rllTl，直径180nm为适宜。