光伏硅杂质元素分析仪是基于能量色散谱仪的工作原理,研制开发的由硅漂移探测器和数字脉冲处理器以及双靶激发系统组成的X荧光类分析仪.仪器的性能测试中：能量线性偏差为0.23%,相对极差为0.06%,相对标准偏差为0.59%,同时探测器的能量分辨率为130 eV,均可证明满足光伏硅中Cr、V、Mn、Co、Ni、Fe等杂质元素的定量分析要求.同时,用该系统对某公司生产的光伏硅材料进行测试,结果与ICP-AES测试结果相吻合.

能量损失谱仪是近几年发展起来的一种新的元素分析仪〔1)。它的主要优点是能够有效地分析轻元素。这一优点是能谱仪和波谱仪所不能比拟的。到目前为止，利用该仪器对固体样品进行元素分析还很少见。本文利用能量损失潜仪对矿物样品进行了B，C，N元素测定.得到了比较理想的结果。