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> 标准平面平晶
平面等厚干涉仪校准方法探讨
作者:
何超琼
来源:
计量技术
日期: 2023-11-02
人气:5
本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。
关键词:
平面等厚干涉仪
标准平面平晶
互检法
环境条件
测量不确定度
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