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平面等厚干涉仪校准方法探讨

作者: 何超琼 来源:计量技术 日期: 2023-11-02 人气:5
本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。
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