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曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响

作者: 陈贇 来源:计量技术 日期: 2024-07-25 人气:15
曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响
根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的码盘、圆光栅的均匀性误差较小。

角度测量的光学方法

作者: 浦昭邦 陶卫 张琢 来源:光学技术 日期: 2024-04-29 人气:32
角度测量的光学方法
光学测角法是高精度动态角度测量的一种有效的解决途径。对目前发展较快的几种角度测量的光学方法--圆光栅测角法、光学内反射小角度测量法、激光干涉测角法和环形激光测角法进行了详细的介绍,并且分别给出了每种方法的测量原理和发展形状,比较了各种方法的优缺点,给出了每种方法的应用场合和发展前景。

平行双关节坐标测量机圆光栅测角误差补偿技术

作者: 于连栋 丁洋 程文涛 来源:南京理工大学学报:自然科学版 日期: 2024-04-11 人气:18
平行双关节坐标测量机圆光栅测角误差补偿技术
该文探讨了一种三自由度(DOF)平行双关节坐标测量机的测量原理和测量模型。分析了该测量机上的圆光栅测角误差对测量机测量精度的影响,给出了测角误差的补偿公式,利用该公式优化了测量机的测量模型。采用标准多面棱体和光电自准直仪对2个圆光栅的测角误差进行实验检定,并对测角误差修正前后的平行双关节坐标测量机测量精度进行了实验比对。结果表明,测量的极限偏差由0.033mm降至0.015mm,而标准差由0.0141mm降为0.0061mm,说明修正2个圆光栅的测角误差可大幅提高该测量机的测量精度。

圆光栅型光电测速器的结构原理与应用

作者: 郭永贞 殷埝生 来源:仪表技术与传感器 日期: 2024-01-25 人气:62
圆光栅型光电测速器的结构原理与应用
概括地综述了圆光栅型光电测速器的结构与工作原理,并介绍了几则应用实例。

光栅位置检测技术现状及发展

作者: 孟超 费业泰 来源:中国仪器仪表 日期: 2023-11-30 人气:4
光栅位置检测技术现状及发展
利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是:用一对计量光栅作位移传感器,通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移量。随着光栅刻制技术的发展和莫尔条纹细分技术的不断完善,工业计量领域中的光栅技术得到了飞速发展。

关节坐标测量机研制中圆光栅误差修正技术

作者: 张礼松 管炳良 来源:计测技术 日期: 2023-11-13 人气:6
关节坐标测量机研制中圆光栅误差修正技术
介绍了关节坐标测量机原理、组成,并对其进行了误差分析。从理论上分析了圆光栅安装偏心误差对测量结果的影响,介绍了圆光栅分度误差测量方法,并采用非线性拟合的方法对该项误差进行了修正。

采用薄型油压缸等分数控转台的装置

作者: 范长庚 王燕 李凤春 张志永 来源:液压气动与密封 日期: 2020-03-27 人气:132
采用薄型油压缸等分数控转台的装置
该文介绍了在数控转台上采用薄型油压缸的装置将数控转台在圆周360°范围内四等分有效地保证了数控转台在圆周360°范围内0°、90°、180°、270°这四个关键位置的分度精度同时相比较于市面上普遍采用的鼠牙盘分度定位结构或圆光栅全闭环反馈分度定位而言大大降低成本并且结构简单、使用操作方便.实践证明该结构设计合理实用性强可靠性高.
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