根据锆钛酸铅压电陶瓷的逆压电效应。设计了以８０３１单片机为核心的压电陶瓷堆微位移器提高了ＰＺＴ的线性，从而满足了在天文自适应系统中所要求的精确微位的应用。

由于目前微位移驱动器普遍存在输出力及输出范围小的缺点,所以提出将超磁致伸缩材料引入到微位移驱动器的设计当中。文中详细描述了基于超磁致伸缩材料的驱动器的设计原理及性能,同时设计了用水冷装置消除线圈发热带来的影响,从而使其达到具有纳米级的驱动精度。

为了提高精密机床的加工精度,研究了一种新型的液压式微位移驱动器.用有限元方法分析了缸体内部径向压力对液压式微驱动器输出微位移的影响,得到了驱动器结构设计公式,并讨论了其适用范围.建立了液压式微位移驱动器性能测试系统,对其主要性能进行了研究.研究结果表明,该微驱动器具有输出与输入线性度好(相关系数达到0.999 97)、刚度高(1.0×109N/m)、稳定性好和无滞后等优点.该微驱动器分辨力达到0.01μm,能够实现亚微米级进给,在精密加工和精密测量中具有广阔的应用前景.

为了提高精密机床的加工精度,研究了一种新型的液压式微位移驱动器.用有限元方法分析了缸体内部径向压力对液压式微驱动器输出微位移的影响,得到了驱动器结构设计公式,并讨论了其适用范围.建立了液压式微位移驱动器性能测试系统,对其主要性能进行了研究.研究结果表明,该微驱动器具有输出与输入线性度好(相关系数达到0.999 97)、刚度高(1.0×109N/m)、稳定性好和无滞后等优点.该微驱动器分辨力达到0.01μm,能够实现亚微米级进给,在精密加工和精密测量中具有广阔的应用前景.

具有立方莱夫斯相结构的Ｒｆｅ２雁化合物ＴｂｘＤｙ（１－ｘ）Ｆｅ２，在室温环境下具有极大的磁致伸缩量，应用这种材料研制的微位移驱动器，具有大位移高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发，对这种材料的原理及特性进行了阐述，同时分析了超微致伸缩驱动器的结构及特性。设计并研制了超磁致伸缩微位移驱动器，通过实验分析，驱动器的位移分辨率达０．５ｎｍ，行程范围４０μｍ，在精密及超精密加工领域有着广阔的应用

设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。一了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了面向对象采用了Ｖｉｓｕａｌ Ｃ＋＋编程，使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面，该爬在的性能与国外同类产品基本相同，造价仅为它们的百分之几。

为便于精密机床的微进给控制，研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理，在简化模型的基础上，对驱动器进行了结构设计，用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能，并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结果表明，该驱动器结构简单、可靠，具有良好的输入输出线性度，耦合位移很小，是一种良好的二维可控驱动方式，在精密加工与精密测量中有着广阔的应用前景。

该文介绍了一种新型流体微位移驱动器.该微驱动器克服了传统微驱动器的缺点,能够同时满足大驱动力、大行程、和微位移这三个条件.同时采用一种参数在线自校正模糊控制器对该微驱动器进行控制,取得了较好的控制效果.