气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析

简介

为便于精密机床的微进给控制，研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理，在简化模型的基础上，对驱动器进行了结构设计，用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能，并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结果表明，该驱动器结构简单、可靠，具有良好的输入输出线性度，耦合位移很小，是一种良好的二维可控驱动方式，在精密加工与精密测量中有着广阔的应用前景。