多光栅测角系统精密转台轴系设计

简介

精密转台是精密测量仪器的重要组成部分，转台轴系精度对仪器整体精度有重要影响。文中根据多光栅测角传感器特点，设计了一台一维精密转台，通过有限元分析完成转台的力学性能分析。其中，使用ANSYS软件对转台进行静力学分析，仿真使用环境下转台的应力分布和位移分布情况；通过动力学模态分析，得出转台各阶振型及相应固有频率。完成设计和仿真后，使用千分表对转台轴系的轴向跳动和径向跳动进行测量，通过建立数学模型分析转台回转精度，验证转台轴系回转精度达到4.3″。