全氟弹性体密封件在半导体工业中的选择和应用

简介

全氟弹性体(FFKM)具有优异的耐介质、耐热和力学性能,是一种出色的密封材料。但由于其复杂的生产和加工工艺,成本高昂,仅应用于尖端领域,例如半导体加工业就是一个典型应用。分析了半导体制造业对密封件的要求,并列举了半导体用FFKM密封件主要的生产商、牌号及其性能和应用。