介绍了基于石英音叉剪切力模式的扫描探针显微镜系统（Scanning Probe Microscope,SPM）的设计和实现。系统由基于PC104总线的工业主板、ATmega16电机控制模块、高压驱动模块、数据采集和前置信号处理模块组成,在TCP/IP和RS232通信协议的基础上通过自定义上层通信协议完成各模块之间的连接。由于采用了模块化设计和工业化标准,该系统可稳定工作于工业现场,用于加工件表面质量的测量、集成电路缺陷检测、材料瑕疵分析等。

介绍一种用于板坯称量的１６ｔ级板坯秤及其自动称量技术。该秤具有独特的机械构造，由ＰＬＣ控制液压驱动系统完成秤架的升降，实现对板坯的自动称量。

研制闭环控制的用于角度标定与测量的分度装置,该装置以永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转带动角度分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度.由电流环、速度环和位置环组成的闭环控制系统实现零误差分度定位控制.研究圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对分度精度的影响,建立误差修正模型.经检定,系统在±5°的角度范围内分度精度达到±0.2",定位重复性0.06".

原麦汁浓度是啤酒生产过程中的一项重要技术指标。该指标的好坏直接影响啤酒的口味、颜色,因此在生产中必需时刻对各工艺阶段的溶液进行原麦汁浓度检测。

原麦汁浓度是啤酒生产过程中的一项重要指标。溶液的折射率是其浓度的函数，全反射的临界角与其浓度之间有一一对应关系。利用线阵CCD做为高精度探测器件，检测全反射临界角的变化，可测量溶液的浓度。临界角的变化与电源的波动及光源的强度变化等因素无关，并且溶液中的固体颗粒、小气泡等不影响检测精度。研制了一种在线检测原麦汁浓诬的测试仪器，介绍了仪器的光学结构及数据处理方法。现场测量精度为±0．1（以浓度表示）。

真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求，规划了真空系统的构成，设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式，缩短真空抽气时间，提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换，通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试，能够达到预定的真空度要求。

介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜（SNAM），并利用该装置对CD—R光盘表面薄膜进行了检测，得到了其平整印刷面的SNAM图像，与原子力显微镜（AFM）测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法，并给出了具体的实验结果。

多数大型旋转装备的轴系采用大直径空心轴，必须定期进行在役无损检测。本文设计研制了用于直径30mm以上的空心轴类的超声探伤系统，由旋转式探头、超声检测系统、机械控制系统、机械推拔系统、油路耦合系统以及工业用计算机系统等子系统组成。本系统在国内某类大直径空心轴进行了检测实验，实验结果证明，本系统性能完全达到进口设备的水平。

设计了一种便携式原子力显微镜压电陶瓷管驱动器,该驱动器使用5～12V宽幅直流电源,产生＋215V和±15V的电源供给高压放大模块和信号调理模块,可将输入的-10V～＋10V控制信号,放大为-200V～＋200V的电压驱动压电陶瓷扫描管,功耗仅为2W左右,体积为150mm×60mm,可以使用电池供电并连续工作7～8h。该驱动器是便携式原子力显微镜的一个重要模块,该模块功能的实现使原子力显微镜在工业现场和野外环境进行测量成为可能。

介绍了数控系统的最新进展──开放式数控系统,并从更高的起点提出了现代开放式数控系统的设计理念,并从软件的角度,结合计算机的最新技术和现代机械制造技术,提出了现代开放式数控系统应具备的基本特征,初步描绘了基于软件系统的现代开放式数控系统的体系结构图,指出了开发现代开放式数控系统应是我国未来数控系统的发展方向,在我国应大力发展现代开放式数控系统。