在器件结构上结合了温差式和风速计式两种检测原理,设计并制造了一种新型结构的MEMS热式流量计。在对温差式流量计的灵敏度、量程等特性进行了有限元仿真的基础上,优化设计了器件结构。同时,提出了一种利用Matlab/Simu-link时域仿真实现热源控制电路设计的方法。采用MEMS微加工技术研制了新型结构的热式流量计。测试结果表明该新设计比传统MEMS热式流量计灵敏度提高近4倍。

光通过二维金属亚波长孔（孔的直径不超过入射光波长的一半）阵列（TDMSHA）时，由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用，会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、化学传感和生物物理上都有着十分重要的潜在应用。文中回顾了该特性的研究历史，详细地阐述了其发生的物理机理，对近十年来该特性在机理、材料、结构等方面的研究进展作了总结，对其前沿研究热点和应用前景分别进行了分析与展望。