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MEMS微悬臂梁构件变形规律的AFM试验研究

作者: 张向军 孟永钢 温诗铸 来源:机械科学与技术 日期: 2024-01-04 人气:39
MEMS微悬臂梁构件变形规律的AFM试验研究
采用原子力显微镜测试了微悬臂梁构件的弯曲变形规律.发现构件的弹性支撑是试验数据和理论计算出现误差的主要原因.引入支撑扭转等效刚度对探针-样品等效刚度计算公式进行修正.修正结果对大有效长度的构件与实测结果吻合良好.对短有效长度微悬臂梁,其误差原因主要为支撑的影响以及测试探针的大变形,论文进一步提出研究的建议.
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