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电容式硅微结构加速度计动态特性的研究

作者: 洪连进 陈洪娟 来源:振动.测试与诊断 日期: 2024-03-14 人气:26
电容式硅微结构加速度计动态特性的研究
为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法,对这种方法进行了理论分析和试验研究,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较,结果表明其误差小于1.9%.
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