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> 电容式硅微结构加速度计
电容式硅微结构加速度计动态特性的研究
作者:
洪连进
陈洪娟
来源:
振动.测试与诊断
日期: 2024-03-14
人气:26
为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法,对这种方法进行了理论分析和试验研究,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较,结果表明其误差小于1.9%.
关键词:
电容式硅微结构加速度计
动态测试
静电力
试验研究
振动台
测量误差
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