微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一.对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析,并做了设计计算,得出了一些有实用价值的结论,使Noma rski棱镜的设计更简便,有利于促进微分干涉相衬显微测量术在我国的推广应用.

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统.编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接.分析并解决了测量过程中的技术难题,对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量.该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌,并给出了定量测量数据.