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引导硅微结构弹性系统的力学分析方法

作者: 丁晓红 李国杰 来源:机械设计 日期: 2024-10-16 人气:4
引导硅微结构弹性系统的力学分析方法
对静电梳微谐振器中引导硅微结构的弹性系统进行了全面的力学分析,建立了符合实际的力学模型,提出了有关的力学分析方法,推导了应力、位移、弹性常数等力学参量的计算公式。与国外文献相比,得到了结论更符合实际。
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