研究了激光共焦扫描显微镜（LSCM）在微结构分析中的应用，综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能，使其可用于大角度测量；与图像处理系统相结合，便于微结构的定性和定量分析；而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明：运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°；在悬臂梁的形貌分析中，可获得清晰的三维形貌，同时通过二维定量分析精确测得其形变为3．145μm；在100×物镜下，运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积，解决了高放大倍数下，在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足，提升了微机电系统的测试水平。

表面形貌的精确描述在许多领域诸如材料、生物医学、摩擦学和机器状态监测等领域变得越来越重要。开聋了一种基于激光共焦显微镜和图像处理技术的研究磨损表面及表面参数的新方法。首先用Bio-rad Radiance 2000激光共焦显微镜方法获得精确的三维表面形貌，然后用计算机辅助图像分析技术自动计算出表面特征参数。应用示例表明本文所研究的方法是可靠的，能对工程表面的表面粗糙度特征进行精确描述。

激光共焦扫描显微镜(LCSM)是一种新型光学显微镜,它能够对活体组织的深度结构进行清晰的二维或三维成像.由于传统共焦扫描显微镜采用单点扫描方式,成像速度慢,无法满足活体组织实时成像的要求.介绍一种以线扫描方式代替点扫描方式的激光共焦扫描显微镜.线扫描方式不但简化了扫描机构的设计,而且提高了扫描速度,使活体组织的实时成像成为可能.

根据激光共焦扫描显微镜采集到的图像的特点，应用混合图像增强的方法，首先对激光共焦扫描显微镜采集到的显微图像进行自适应滤波，然后进行锐化，最后再进行局部直方图均衡处理可有效地突出细节信息，同时滤除噪声。