讨论了液相型原子力显微镜(AFM)的液相探头、液体池、图像扫描处理软件以及扫描与光电反馈控制电路系统.利用该液相型AFM分别进行了气相和液相环境中的样品表面形貌测量,给出了理想的图像结果.实验表明,该液相型AFM具有优良的液相扫描性能,同时保持了很高的图像分辨率、稳定性和重复性.

发展了一种气／液两用型原子力显微镜（AFM）系统，讨论了其工作原理，给出了优化的气／液两用型探头及扫描与反馈控制电路。利用该型AFM系统分别对大气环境下的硅片以及液体环境下的刀片和多孔氧化铝样品进行了扫描检测。实验结果表明，该型AFM系统在大气和液体环境中均可扫描获得理想的AFM图像，分辨力达到纳米量级，扫描范围可达4000nm×4000nm，可满足各种微纳米扫描测量的要求。