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大尺寸球面数字刀口检测技术的研究

作者: 张均 董军 蔡邦维 张蓉竹 张艳 来源:光学与光电技术 日期: 2023-03-02 人气:9
大尺寸球面数字刀口检测技术的研究
介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125~150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布.通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据.
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