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> 数字刀口
大尺寸球面数字刀口检测技术的研究
作者:
张均
董军
蔡邦维
张蓉竹
张艳
来源:
光学与光电技术
日期: 2023-03-02
人气:9
介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125~150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布.通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据.
关键词:
光学面形检测
数字刀口
定量分析
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