气动隔振是精密仪器和半导体制造中保持清洁、微振动工作环境的关键系统。被动气动隔离不能满足低频隔振的需求,甚至会产生共振现象。开发了一种基于等温容腔的主动气动隔振器,并采用H∞控制方法抑制低频振动的干扰。首先,将等温材料填充到隔振器的腔室中,以减少充气和放气过程中温度变化的影响。然后,基于鲁棒H∞控制理论,设计了一种能够抑制低频振动扰动、鲁棒性高的控制器。最后,应用1~10 Hz的激励信号测试气动隔振系统在H∞主动控制情况下的性能,并与被动隔振效果进行比较。结果表明,等温材料的加入降低了腔室充放气过程的温度变化,主动控制方法提高了低频范围内的隔振性能,有效衰减了系统的谐振峰。