针对目前航空工业对高频响、高精度的射流管伺服阀需求设计了一款压电叠堆驱动式射流管伺服阀分析了其工作原理对其动态特性进行了分析。为进一步提高其性能提出了一种采用正交因素分析确定关键参数合理范围并进行响应面寻优的优化方法。采用该方法对压电叠堆驱动式射流管伺服阀的结构参数进行了最优参数的确定。仿真试验结果表明优化后的伺服阀的性能得到了较大提升。