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> 微调焦系统
采用无阀微泵的微调焦系统特性研究
作者:
张圣卓
刘吉晓
李松晶
来源:
液压与气动
日期: 2019-03-19
人气:15
该文提出了一种由一组无阀压电微泵、调焦透镜、储液容器、位移传感器、电源和控制器等组成的微流控调焦透镜系统,介绍了该系统的结构及工作原理,建立了无阀压电微泵及系统的动态数学模型,并利用Matlab/Simulink软件,分别对单泵工作和双泵工作两种工作模式下系统的动态特性进行了仿真研究,给出了仿真结果并进行了分析。
关键词:
微调焦系统
微流控系统
无阀微泵
MEMS
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