针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望.

随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,尺寸效应对系统的影响越来越明显,如何控制微电子机械中的粘着力,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素.本文首先介绍了国内外粘着力的研究理论;根据Hamaker理论,推导出圆锥-平面型、四棱锥-平面型、抛物面-平面型模型之间包含斥力项的粘着力表达式;并仿真得到数值结果,从而对微电子机械设计提供理论基础.

提出了应用于近红外光谱汽油辛烷值测定仪的支持向量机方法,该方法具有强的泛化能力及全局最优解的特点,得到的数学模型其预测能力明显改善.实验表明该方法优越于目前在近红外光谱测定汽油辛烷值中常见的偏最小二乘和人工神经网络等方法.

OCT技术是一种新型的医学层析成像技术,它在临床诊断方面具有巨大的应用价值.目前OCT技术在仪器化、实用化方面还存在许多困难,主要体现在如何获取高强度宽带光源和实现高速精密的扫描控制机构.本文主要介绍了OCT在光源和扫描控制这两个领域的进展.

文中介绍了用单片机实现智能压力计的设计方法.重点研究了串行芯片的应用.与以往的设计相比,智能压力计设计全部采用串行芯片.其设计新颖,体积小.节省了CPU的I/O资源.对于液晶显示LCD和数据采集,文中不仅说明了其硬件连接,而且给出了软件程序设计.对智能仪器中串行芯片的应用研究,具有一定的实用价值.

提出一种基于单片机的氟离子浓度测定仪器的实现方法.通过程序对测量值的自动计算和智能判别,减少了人为因素引起的误差,获得了良好的效果.与传统的氟离子浓度测量仪器相比,工作效率得到了显著提高.

利用EPLD强大的逻辑处理功能、易于应用的I/O端口和高速处理能力,借助单片机体积小、成本低、易控制、可靠性高、运用灵活等特点,开发了一个便携式数字超声波检测仪器.该仪器不仅具有超声信号的自动采集、存储、显示、分析和处理功能,而且具有输出接口,为数据的进一步处理,实现超声检测的图像化、智能化、自动化奠定了良好的基础.

介绍了用于实时监测卷扬机械钢丝绳的张力测量系统的软硬件组成、系统功能.

针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,该模型表明:对于给定原子力显微镜扫描器,样本上与探针接触点的横向和纵向位移取决于探针尖端相对于扫描管轴心的偏置量、所加电压(或名义扫描范围)及样本厚度.据此模型,对由于弯曲运动模式所产生的两种重要误差-交叉耦合误差及扫描范围误差进行了定量分析,分析表明:扫描范围误差主要受样本厚度及名义扫描范围影响,而Z向交叉耦合误差主要受探针偏置量及名义扫描范围影响,实验验证了所建立的运动学模型和误差计算公式的正确性;另外,还提出了相应的减小误差的方法.

介绍了超声波物位仪的原理,给出了以单片机为核心的智能物位仪系统的组成,论述了温度对测量的影响及解决方法,在实验的基础上对物位测量的误差进行了分析.