针对目前横向加载单向变形静电微驱动器存在的位移过小或驱动电压过大的问题，提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低电压静电微驱动器模型，将弹性力由传统意义的恢复力改变为驱动力，推导出微驱动器挠度变形的控制方程．通过仿真发现，该驱动器的驱动位移高达145μm，远大于目前微驱动器的变形量；驱动电压仅为5V，远低于目前微驱动器的驱动电压值．

提出了一种解决热电模块参数的方法.给出了可获得较大制冷系数的条件.热电器件冷却采用最小电流控制技术可获得较高的制冷效率,该技术已成功地应用在某热电控制的微通道换热系统中.

为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子之间的作用力表达式 ,仿真出粘着力同原子层之间的关系 ,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论 ,从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础

MEMS是微电子和微机械的集成体 ,目前制备 MEMS的材料和工艺等得到很大发展 ,但其研究理论尚不成熟。本文综述了当前制备 MEMS的几个重要步骤 (即设计、材料选择、加工、封装以及测试 )的发展水平和存在问题 ;并总结了 MEMS应用的最新进展和未来前景

"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.

针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型.经对某微陀螺结构的仿真计算发现,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大,造成电容检测信号极为微弱,无论激励的幅度和频率如何.为此,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构,可减小哥氏阻尼力,相对增大了激励哥氏力.这种新型结构显著增强了电容检测信号,而且具有双轴微陀螺功能、对耦合线加速度不敏感等特点.

介绍了目前研究纳米接触问题的方法;根据Hamaker理论,利用连续介质方法,建立了原子力显微镜针尖和试样面接触的包括斥力项的力学模型;对模型进行了仿真,仿真结果同实验现象一致.将纳米接触问题的研究领域从非接触区域扩展到间歇接触区域,为原子力显微镜的进一步研究,实现原子操纵提供理论基础.

首先建立了原子力显微镜(AFM)针尖与试样面力学计量的物理模型,介绍了研究该问题的方法.根据Hamaker理论,利用微观连续介质法建立了AFM常见的圆锥型、四棱锥型和抛物面型针尖与试样面间的包含斥力的力学模型.经计算得到仿真结果,仿真结果与实验结果一致.

基于机械振动理论和控制理论,以TMS320F2407为核心处理器建立了一种数字式主动振动控制系统。设计了该系统硬件电路,并用软件实现了控制策略。实验表明,该系统有效地解决了主动振动控制的实时性问题,并使系统具有较强的适应性,隔振效能大大提高。

针对计算机视频信息泄漏机理进行了分析，提出了一种新型的基于像素的视频信息并行传输方式，设计了基于FPGA的计算机防视频信息泄漏软硬件系统，运用Quartus Ⅱ软件对系统程序进行了综合及仿真，并给出了仿真结果。