本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。

阐述了采用静电力自动调整微机械(MEMS)电容式加速度计零点的基本原理,设计了数字电位器MAX4502与单片机接口的自动校零电路,并给出了自动校零的程序流程图.实验表明:零点可以伺服稳定在30μV以内,调零快、调零效果较好.

美国波士顿大学的Jan Smith博士着手有关微泵和谐振式硅结构的研究。此后，与微机械有关的结构和器件的研究正在迅速增加。目前，在MESA研究所中，大约有25人从事有关微机械的研究。正在研究中的器件有流体控制器、流量传感器、液体混合器、谐振式加速度或压力传感器，微型机器人用的活动关节、微定位器、小型扩音器、眼压计以及扫描探测显傲镜等。

<正> 1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.带运动的信息仪器用于信息系统的仪器在具有输入输出接

<正> 微系统工程将成为21世纪的关键技术,由于微电子学加工方法的不断发展,有可能使电子学功能、光学和机械功能组合为综合的微系统。1.微型装配的必要性微系统工程的一个重要特点,在于它是通过各种不同功能的集成,制成专门应用的、型号多变的产品。因此,除个别情况外,其生产一般都限于少量或中等量的件数。为了使产品的成本降低且有市场竞争力,应尽可能由大批量生产的标准元件装配而成。

微机械力学性能对微机械的设计、加工等具有重要作用，积累和完善微机械力学性能库已经成为进行微机械研究的重要基础课题。本文根据微力微位移方法进行微构件力学性能测试的要求，研制了微机械力学性能测试仪。论文着重论述了微机械、仪器总体设计方法、各部分方案，并给出了测试结果。

以MEMS动平板模型为研究对象，建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型，利用界面化学中表面能和粘附功的概念，推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式，并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素。在此基础上还设计了拉簧-平板-弯簧器件以进行相应的表面粘附阻力实验研究。理论分析和实验验证均表明，表面粘附阻力随单位面积的液气界面表面能以及平板宽度的增大而增大，随着接触角的减小而增大，且平板工艺开孔的总宽度增大以及平板移动方向的孔数的增多将显著增大表面粘附阻力。

提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。

对空气阻尼进行定性和定量分析是MEMS器件设计中非常重要的一个步骤，直接影响MEMS器件的动态性能。研究了第三个区域中振动轮式微机械陀螺仪的滑膜阻尼，提出了滑膜阻尼模型，分析了滑膜阻尼的动态性能，包括速度分布、阻尼机制以及由此产生的能量损耗。根据滑膜阻尼分析结果，给出了品质因数的计算公式。试验表明，空气条件下振动轮式微机械陀螺仪品质因数的测试结果与理论值的误差约为16%。研究结果为振动轮式微机械陀螺仪结构设计中定量分析空气阻尼提供了理论依据。

以压电驱动式微夹钳为例进行微夹钳传动系分析,按传统的静力平衡和机构运动几何关系及柔性铰假设方法推导出其速比和转角简化计算公式. 将该简化公式计算结果与实测结果比较表明,计算值与实测值相比误差较大,说明按这种传统方法推导出的简化计算公式是不适用的. 因此,根据实测结果按曲线拟合方法给出修正的该简化计算公式,其计算结果与实测值相近.