简要介绍用于ＭＥＮＳ和微电子标准的纳米计量技术，并对其发展提出建议。

利用应变梯度弹性理论,对微尺寸圆杆扭转的静动态特性进行了研究,分析了偶应力对微杆扭转的静态应力和自振频率的影响.当圆杆的半径接近于材料的特征常数时,其扭转静动态特性存在明显的尺度效应,使静态最大剪应力减小,动态自振频率提高.

提出将自然循环预冷法与低温热管技术有机结合的设想,综合自然循环和低温热管的优点,可以实现连续、快速冷却,保证被冷却物体的温度波动较小,同时具有自反馈功能.详细介绍了基于自然循环预冷及低温热管的高效低温传热单元的设计及初步试验结果.给出了该低温传热单元在微机械(MEMS)电源开发中的应用实例.

由于微机械制造具有加工尺寸小、成型分辨率要求高等特点,微机械的快速成型微细加工工艺存在着不同于通用快速成型工艺的特殊问题及关键技术.该文对微机械光成型微细加工工艺和系统构成等进行了研究,制作了国内第一台微机械光成型实验系统,并加工出微曲柄等微零件,探索了快速成型微细加工技术制造微机械的新路子.最后提出了微机械快速成型微细加工的几个研究方向.

针对微机械三维几何尺寸测量问题,提出了基于CCD光电测量技术的图像测量方法,并结合硅微悬臂梁深度和平面尺寸进行了实验研究,其结果可适用类似的三维结构测量.

在传感器日趋微小型化的趋势下，该文提出了一种扭摆式加速度计的结构，并对其进行了数学建模，分析了加速度输入时质量片扭转角的大小、力矩器产生的静电引力及支承梁的弯曲挠度和电容误差，给出了检测得到的加速度计的性能。表明，文中上述问题的分析思路是合理的，所设计加工出的加速度计试验样机已接近某些领域的实用要求。

设计了一种基于静电悬浮原理的微机械加速度计。它采用三明治结构的微敏感元件，电容式位移检测方案及静电力悬浮控制方案。着重对敏感元件的主要结构设计、参数的选取、支承静电力的计算以及量程极限、精度极限等问题进行了分析，表明在目前技术条件下，可以实现量程约5g，精度为10^-5g的悬浮微加速度计。设计并加工出一种圆环形结构的敏感元件，已实现了Z轴方向的静电悬浮及加速度测量，证明设计方案是可行的，进一步研究可实现三轴悬浮加速度计。

针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足，根据电子隧道效应的特点，设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪，运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真．把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测，结构简单，功耗低，抗干扰能力强，可靠性好，线性度高，具有很高的灵敏度，尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势．

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法.