揭示了微机械气流式加速度计的敏感机理。采用有限元方法，分析了在不同加速度输入时敏感元件内的流场分布。结果表明，无加速度输入时，两热敏电阻处的气流速度相等，两热敏电阻上的电流相等，电桥输出为0；有加速度输入时，两热敏电阻处的气流速度之差随加速度变化而变化，引起两热敏电阻上电流之差也随之变化，电桥输出一个对应于加速度的电压。所述的方法为微机械气流式加速度计的结构优化设计提供了简单有效的途径。

为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子之间的作用力表达式 ,仿真出粘着力同原子层之间的关系 ,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论 ,从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础

<正> 为了成功地应用微型技术,不仅需要能制成微型结构,还要求能对其操纵和监控。因此微型装配成为一个重要的课题,同样,微型结构及成套微系统的质量控制也是很重要的。

<正> 巴伐利亚激光中心与艾尔兰根·纽伦堡的Friedlich—Alexander大学的教研室合作,共同进行工艺和系统的开发。并在培训与再教育方面承担顾问工作。该中心目前有69名工作人员,其中近一半是科研人员。共有30多台激光器。此外,巴伐利亚激光中心还配合巴伐利亚激光技术研究协会开展工作。该协会得到巴伐利亚研究基金会和工业企业的资助,在经济上紧密合作,在16个项目中,针对5个课题开展了实用定向的基础工作。它们包括微光应用的计划制定,在线编程以及生产技术中的精密加工。除了激光中心的业务部门外,在慕尼

近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将对微机械部件的加工方法一微研磨技术作以介绍。

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析，结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向，中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系，通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向，另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计，利用体硅微机械加工工艺和硅／玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计。为了有效减小低频噪声，在反馈回路里加入了振荡器和解调器。测试结果表明，目前样品的分辨率约为10^-6g/-√Hz，抗冲击能力达到50g。

设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.

微系统工程的开发中，主要难题是制作极其微小的元件以及它们的装配。其中，夹持工艺起着决定性的作用，因为使用通常的技术，可能会损坏这些微小的结构。最近，夫琅 霍费生产技术与自动化研究所研制出一种用于微系统的粘附钳手，用酒精作为粘附液。

讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试.微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层.功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性.