刃磨成为一种提升钻削刀具加工精度的高效方法,设计了一种刃磨大长径比刀具。通过六轴数控工具磨床以刃磨方式制备外径尺寸0.5mm与长径比为10的大长径比刀具。利用4Cr13不锈钢开展微孔钻削测试,再根据钻削力、刀具磨损程度、微孔加工水平进行刀具钻削特性评估。研究结果表明当微孔数量增加后,采用刃磨大长径比刀具方式则发生了钻削轴向力的明显减小,形成了更平缓的上升趋势。刃磨方法能够大幅减小大长径比刀具横刃与后刀面磨损宽度。刃磨大长径比刀具形成负前角横刃并对挤压工件形成更小的刮削,采用正前角的内切削刃处理时形成了更大的切削工件区域,引起钻削轴向力的明显减小,有效控制刀具钻尖发生磨损程度。刃磨大刀具方式形成了外形更规则的孔口,微孔形成了更小圆度误差,刃磨大长径比刀具形成孔壁粗糙度更小的微孔。

随着电子技术和讥诫技术的发展，支撑这些技术的精密加工也不断地向更高阶段发展。 以静所采用的微孔加工方法-一微型钻头加工、激光加工、电子束加工、腐蚀加工及电火花加工等方法虽然都各有其优点，但也存在一定的不足之处，所以期望研制出更理想的加工技术及加工机械。

对基于规则微孔金属板的磁流变液的法向力的产生和阻尼特性的形成机理进行了研究,在可控外磁场作用下,储于金属板微孔中的磁流变液可以升高并析出,在其对面的剪切盘上产生法向力。当剪切盘旋转时,该磁流变液产生阻尼应力,通过实验验证了这一现象和特性。重点研究了影响法向力的主要因素和剪切应变对法向力的影响,并进行了实验验证和理论分析。

针对存于规则微孔板的磁流变液(MRF)在磁场作用下产生正应力的现象进行了实验研究,实验结果表明:以微孔金属铝板为载体储存的磁流变液在磁场作用下能从微孔中溢出并能在两平行板产生正应力从而实现阻尼功能,本文研究了产生正应力的大小与磁场强度、剪应变及工作间隙关系。

为提高室温印压铜片所得微孔的质量,减少微孔内部裂纹以及获得孔径更小的微孔,提出加热印压的新工艺方法。通过大量印压实验,对影响微孔成形的各因素进行分析与验证,得到最佳的加热印压工艺参数。结果表明:采用加热印压可获得孔径更小的微孔,而且微孔边缘隆起高度有所降低,成形质量更高。

为提高室温金刚石纳米印压铜片所得微孔的质量,减少微裂纹以及获得孔径更小的微孔,提出加热辅助印压新工艺方法,借助加热影响铜片的组织与性能,改善成孔效果。建立微孔边缘裂纹与工件晶粒微观组织、金刚石压头和加热温度之间关系,并对这三方面进行分析,通过DEFORM软件对印压微孔进行模拟,并结合实验研究,对加热印压纯铜动态再结晶细化晶粒进行分析,确定了加热印压最佳工艺参数。结果表明:加热印压微孔时最佳成形温度为200℃,最佳下压速率为0.01 mm/s。

针对微孔检测中精度和效率亟待提高的问题，首次提出了基于光通量的微孔几何参数快速检测理论和技术。研究基于微弱光通量检测的微子L测量传感器测量原理和用于微弱信号处理的电路设计。通过对五种不同规格的微孔进行检测，拟合出基于光通量法检测微孔电压值与图像检测数据的关系曲线。最后分析了测量系统的误差来源和特点，研究了误差补偿技术，并通过实验验证了基于光通量法微孔检测原理的可行性和有效性。

建立了气体润滑微孔端面机械密封（LST-MS）的气膜压力控制方程及雷诺方程,利用有限差分法和小扰动法计算了气膜稳态和动态压力分布,分析研究了频率数、面积比和布孔方式等参数对密封动态刚度和阻尼等表征气膜特性参数的影响。结果表明,高频扰动易使密封产生气膜振荡而导致密封失稳;孔径尺寸对密封气膜影响明显,随微孔列数的增多,刚度和阻尼均将逐渐趋于某一稳定值,频率数越大,则稳定值对应的微孔列数越多。