近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将对微机械部件的加工方法一微研磨技术作以介绍。

介绍了电流变技术在微型机械系统中的应用,特别介绍了三通口微型电流变阀的结构特点、制造工艺、基本特性,并通过实验模型阐述了这种阀的可行性.

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败.而LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的LIGA掩模板,加工周期长.为此,基于反应离子深刻蚀技术,结合电镀工艺,提出了一种金属微结构的微加工制作方法,并进行了相应的实验.结果表明,该方法不仅可以制造出深宽比为6的微型金属螺旋线圈,还可以为其他非硅三维微结构的加工提供一定的技术支持.

毛细力驱动自组装的定位是利用微元件及基片表面之间的毛细力作用实现的.为了研究微元件及组装区的形状对自组装定位的影响,在分析毛细力驱动自组装机理的基础上,利用能量法建立了毛细力驱动自组装系统的定位解析模型,预测了不同形状微元件的自组装结果,并对一些不合理的组装设计进行了修正.结果表明通过计算自组装表面能量可以预测组装结果,并设计合理的粘合区形状.

设计了一种用热拉伸法制备毛细管微探针的新装置，可制作尖端内外径从亚微米量级至数十微米量级的毛细管微探针，介绍了微探针在细胞人工授精操作中的应用实例，并提出了一种基于扫描隧道显微手术与电化学技术，利用微探针进行了集成电路微细加工的新方法。

介绍了压电式微型仿生六足分节机器人的理论设计原理,阐述了适用于该微机器人的动力学模型,研究了该微机器人机身和压电驱动器的加工工艺,并对加工出的压电驱动器进行了测试和分析.把在微机械方面应用极广泛的压电驱动器应用到微型仿生六足分节机器人上,结构简单、新颖,不仅使微型仿生机器人在驱动研究的新领域有所突破,还使其在整体机械结构设计上有所创新.