介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr—Au掩蔽薄膜的沉积工艺，从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素，提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中，强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。

首先介绍了铝合金液压阀岛系统结构及其工作原理,分析了铝合金液压阀岛试验系统设计的要求并建立了相应的试验系统。在此基础上,进行了阀岛溢流阀的各项静态特性的测试试验,并对相关试验的结果进行分析研究。

为了测试铝合金阀岛溢流阀的性能在高低温状态下能否满足使用要求,根据铝合金液压阀岛系统结构和工作原理,以及在分析其试验要求的基础上建立测试试验台的总体结构。将整个阀岛置于能够调温的高低温柜内,通过在-40～130℃的温度下对阀岛的动态特性进行测试,分析测试的动态特性曲线,得出测试的结果液压阀岛在设定的测试温度环境下均能正常调压,无外渗漏现象;液压阀岛在-40～60℃的温度下工作时其响应稍为缓慢,但压力稳定可调能正常工作;阀岛在80～130℃温度下工作时电磁阀不能正常换向,但其响应速度与常温环境下几乎没有变化。

针对页岩气井压裂作业中水平井固井水泥环密封失效的问题,开展了油层套管外水泥环密封能力评价实验研究。充分考虑现场井筒深度、候凝温度和水泥环实际围压的差异,设计了不同的水泥石养护温度和加载围压方案,并基于应力等效方法对全井筒水泥环在试压和压裂工况下的密封能力作了评价。实验结果表明:在实际工况下,不同井段的固井水泥环表现出显著的密封性能差异,且高试压压力易使井筒中上部井段的水泥环失效;在大规模分段压裂工况下,套管及水泥环受到循环交变载荷的影响,会使技术套管和油层套管的环间水泥环出现大量微环隙而导致环间气密封失效,但处于裸眼段的水泥环更易保持完好的密封性。经分析:水泥环的力学性能受温度和压差的显著影响,因此不同井深段的水泥环密封性能出现差异;同时,压裂交变载荷会使水泥环压实并产生累积...

为测试铝合金液压阀岛溢流阀的静、动双态特性是否满足使用要求，根据铝合金液压阀岛系统结构及工作原理，在分析其试验要求的基础上建立了相应的静、动双态特性试验测试平台。通过对阀岛溢流阀的静、动双态特性的主要性能指标进行测试，得出相关结论。静态特性测试结果表明：被测溢流阀的调压范围符合技术要求，压力振摆较小，且压力偏移值在允许范围内；在额定压力下，流量较低时，被测溢流阀可得到更好的启闭特性。动态测试结果表明：被测溢流阀的压力超调率与试验流量和溢流阀的进口压力有关；试验流量和溢流阀的进口压力增大，被测溢流阀的压力超凋量会增加；当改变被测溢流阀的试验流量和溢流阀的进口压力时，被测溢流阀的压力上升时间及压力调整时间均随之变化。

介绍溢流阀在液压系统中的作用，分析直动式锥型溢流阀的结构和工作原理；构建该阀的结构简图，并在力学平衡方程和流体连续性方程基础上建立其数学模型；通过对数学模型中相关参数的分析，得出了直动式锥型溢流阀的相关变化参数对其静态特性的影响程度。

本文介绍了铝合金液压阀岛开发的关键技术及解决措施,并对铝合金液压阀岛的性能进行了分析,给出了试验结果.

首先介绍了铝合金液压阀岛系统结构及其工作原理，分析了铝合金液压阀岛试验系统设计的要求并建立了相应的试验系统。在此基础上，进行了阀岛溢流阀的各项静态特性的测试试验，并对相关试验的结果进行分析研究。

分析溢流阀在铝合金液压阀岛中的作用及其设计时须考虑的参数；根据铝合金液压阀岛的要求确定溢流阀为直动式，通过对直动式溢流阀工作原理的分析及其各种结构的性能比较，确定阀芯结构为锥形。计算了溢流阀的通径d、阀芯与阀套之间的间隙△r和锥阀锥角a等主要几何尺寸以及在最高调定压力p1max下阀芯额定开口量x10、液压卡紧力FK和阀的弹簧刚度K1及预压缩量x0，为溢流阀的设计提供参考。

为测试铝合金阀岛溢流阀的性能在（-50～140）℃温况下能否满足使用要求根据铝合金液压阀岛系统结构和工作原理并在分析其试验要求的基础上构建了阀岛溢流阀测试平台总体结构。将整个阀岛置于能够调温的高低温柜内通过在（-50～140）℃的温况下对阀岛溢流阀的动态特性进行测试分析测试的动态特性曲线得出测试的结果：液压阀岛在设定的测试温度范围内均能正常调压无外渗漏现象;液压阀岛溢流阀在（-50～-20）℃的温度下工作时其响应稍为缓慢但压力稳定可调能正常工作;在（-21～79）℃温况下工作时其响应与（80～140）℃温况下基本没有差异。液压阀岛电磁阀在（-50～79）℃温况下能正常换向在（80～140）℃温况下却不能。