四面固支加筋壁板结构中存在的模型难以确定等多种不确定因素，影响了闭环结构的振动控制性能。针对这一问题设计了一种不依赖结构数学模型的加速度传感信号反馈和二阶线性自抗扰复合振动主动控制策略，并在理论上分析其稳定性和优越性。首先，采用二阶线性自抗扰控制器实时估计对象模型变化及其外扰组成的广义干扰，并将估计值作为补偿信号前馈到控制信号中消除广义干扰对系统的影响；然后，设计加速度传感信号和线性状态误差反馈的自抗扰复合振动控制器；最后，基于dSPACE实时仿真系统，建立了四面固支加筋壁板结构的主动振动试验平台。利用加速度传感器和压电片驱动器抑制加筋壁板结构振动，并对提出的控制方法进行对比试验。几种外界干扰激励的试验结果表明，该方法不仅能有效抑制由于正弦激励和外界冲击引起的振荡...

对基于数字增量PID算法的压电微位移器驱动控制系统进行了理论分析和开发研究,提出了基于数字增量PID算法的压电微位移器控制系统的设计方案,并利用通用计算机及数据采集板对其进行了开发,最后将该微位移控制系统用于基于压电堆驱动器的机械手手指张合运动控制系统中,取得了良好的控制效果。该微位移器控制系统具有实现简便、控制效果好、通用性强等特点,可广泛用于各类基于压电驱动的微位移器位移控制系统中。

为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度，提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率，但存在着迟滞非线性。分析了压电陶瓷驱动器的结构和特性，利用动态神经网络的自反馈结构和自学习能力，建立起工作台的网络模型，通过在线调整模型结构和参数，减小了工作台的建模误差。测量工作台的定位数据对网络模型进行了训练，实验结果表明，当工作台最大行程为80μm时，平均定位误差0．07μm，最大误差0．09μm，比采用静态网络模型有了一定的提高。

阐述了差式微位移放大机构的基本设计原理，分析了机构中位移损失的原因。研制的放大机构具有较好的放大效果，而且机构的位移输出线性特性也较好。采用片状柔性铰链成功地解决了由于机构中的位移干涉造成的机构内部反力太大的问题。

由于压电驱动器具有迟滞、蠕变等非线性特征,在精密定位中存在较大的位移跟踪误差。本文对此提出了一种逆补偿和迭代学习控制算法相结合的控制方法。利用逆补偿器作为前馈,使压电陶瓷驱动器的位移跟踪误差得到一定的补偿,再利用迭代学习控制方法进行反馈,进一步减小压电驱动器的位移跟踪误差。仿真实验结果表明,该方法具有良好的控制效果,能够将驱动器的输出位移误差由37.26%减小到0.51%以内。

针对提高指向机构定位精度的要求，充分利用压电陶瓷驱动器和柔性铰链的优点，设计一套基于压电陶瓷驱动的新型高精度的两自由度微调平台，并实现了微调平台的机构、驱动、检测的一体化。采用余弦矩阵法，对微调平台的机械结构进行运动学分析，并利用Ansys软件建立有限元模型进行静力分析，求出各关键零、部件的微位移和应力分布，验证了设计方案能够满足工作空间和强度准则的要求。

微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.

文章主要对压电驱动器的Maxwell滑动模型进行改进,并利用改进后的Maxwell滑动模型对压电陶瓷驱动器固有的非对称型迟滞现象进行研究。利用传统Maxwell滑动模型在不同方向的速度差异,通过一个可修改的速度阈值参数,建立不同的弹簧滑块结构来描述对应的曲线,将传统的并联结构简化为串联结构,避免了在求解过程中的参数耦合问题,并且让模型有了可以描述非对称迟滞曲线的能力,同时使用该串联结构将模型参数的求解过程变为一个参数的最优化问题,简化了系统的求解过程。实验结果表明,改进型Maxwell滑动模型的输出曲线可以有效模拟压电陶瓷驱动器的响应曲线。

由于压电型电液伺服阀的阀芯采用两个对顶压电驱动器驱动，且压电驱动器固有的迟滞非线性，使两压电驱动器的输出具有很强的耦合作用，不能同步，从而使阀芯的运动速度、精度和平稳性降低。采用单纯的PID控制可以在一定程度上实现解耦控制，但其控制精度较低。提出了一种基于DRNN网络整定的PID控制器，它根据DRNN网络辨识的被控对象的Jacobian信息，在线调整PID控制器的比例、积分和微分参数，从而使DRNN网络整定的PID控制器很好地实现了阀芯的解耦同步控制。实验结果表明DRNN网络整定PID控制的综合性能优于常规PID控制。

介绍了一种基于压电驱动的数字化微喷射技术。利用逆压电效应,对压电驱动器施加周期性电场,使与之固连的微管道固壁产生周期性运动,固壁边界层内的流体随管壁一起运动,并通过粘性力将运动传递,带动微管内部流体一起运动,实现了微流体的驱动。以粘性不可压缩流体运动的纳维-斯托克斯方程为基础,得到了压电驱动微管道内流体的运动控制方程及其解;在此基础上分析了形成微喷射的原理。对微喷射进行了实验研究,喷出的液体量微小、可控,且适用不同流体的喷射。