介绍了半导体制冷技术的原理及其在工程上的应用,分析了该技术的应用发展前景,探讨了影响半导体制冷性能的因素,并指出了半导体制冷技术存在的问题和发展趋势。

针对半导体制冷散热器存在的问题，采用热管技术加以解决。分析比较了超片式散热器和热管式散热器的传热性能，归纳出采用热管式散热器的优点。

论述了微型硅半导体低温温度计的各种优良特性，并运用电子材料及其工艺原理设计 一套保证其具有优良特性的制作工艺，通过测量可知，这种温度计在液氮温度下具有良好的复现性，且其电压信号与温度信号人有良好的线性关系，可望在低温工程中获得广泛的应用。

传统的夹紧装置采用的是液动或者气动,具有漏油污染或噪音污染.热敏材料体积效应的夹紧装置是通过半导体快速制热、制冷技术,利用热敏材料的体积效应和位移放大器实现工件的夹紧、放松,是一种绿色夹紧技术.

近年来，我国热式流量仪表受到各界关注。从近几届多国仪器展览会参展厂商统计一个侧面考察市场扩展动态，估计了国内生产热式流量仪表的规模。列出热式仪表类型谱系图，阐述了各型号的原理特点和应用领域，最后概述了不同型号仪表应用于半导体、分析仪器采样、公用事业污水治理和环保废气排放监控等典型实例。

介绍了由分子束外延技术生长的ＣｄＴｅ／ＺｎＴｅ多量子阱光双稳器件的工作原理以及制作、结构、测试方法及测试结果，在５３２ｎｍ波长下两个样品都观察到了典型的光双稳态现象。

阐述了半导体激光技术发展现状,国内测速仪的应用现状、现有激光测速仪存在的弊端.提出了脉冲式半导体激光测速仪具体设计方案,对误差来源进行分析,并采用模数转换技术A/D电路来提高测速精度.

介绍一种新型半导体电阻温度计，该温度计由掺锰的ＩｎＳｂ单晶体制成。它们已被用来测量０．０１Ｋ到３５０Ｋ的温度，且显示出高的灵敏度，低电阻率和良好的重复性。这种温度计的标定校验在低温和超低温下也十分简单，因为它们是纯指数的温度－电阻关系。

介绍了MEMS器件的发展历史,国内外研究和应用现状,对国内外差距进行了比较,给出了MEMS 器件今后的一些发展趋势.同时,提出了推进MEMS 器件产业化的建议.

面向半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流控需求,提出了一种新的永磁体内嵌式超洁净阀结构。将永磁体嵌入超洁净材料(如超纯全氟树脂)所制的阀芯内,通过阀腔外部的永磁体驱动阀芯启闭,从而实现液体介质的超洁净控制。阐述了该超洁净阀的工作原理及优势,对其流量-压损特性进行了仿真计算,并通过不同开口下流体介质对阀芯作用力与阀腔内外永磁体间磁场作用力的计算,对阀芯受力特性进行了分析,验证了永磁体内嵌式超洁净阀方案的可行性。进而,为改善阀芯启闭与控制特性,对驱动磁场进行了优化设计,并通过仿真验证了其有效性。