为了提高柔性压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究,并制作了两种传感器样片。测量结果表明,在压电材料相同的情况下,不同的结构、尺寸参数及制作流程对柔性压力传感器的灵敏度、响应时间和循环工作稳定性都有一定的影响。

对精铣刨鼓的刀具布置及几何参数进行分析探讨,同时设计一种整体刀座,探讨新的制作工艺,简化了操作。解决了铣刨鼓制作工程中出现的刀具定位困难、工作量大、精度不易保证等问题。

介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势.

论述了微型硅半导体低温温度计的各种优良特性，并运用电子材料及其工艺原理设计 一套保证其具有优良特性的制作工艺，通过测量可知，这种温度计在液氮温度下具有良好的复现性，且其电压信号与温度信号人有良好的线性关系，可望在低温工程中获得广泛的应用。

气泡致动器的弹性薄膜厚度不均、高压气体泄露、刚性基底以及缺乏控制依据是制约其实际应用的关键问题。为了解决上述问题,采取了如下措施：对现有成膜工艺进行了改进,提高了弹性薄膜厚度的一致性;开发了一种新的气泡致动器的制作工艺,避免了原制作工艺中的粘接环节,保证了气泡致动器的气密性;使用柔性材料作为基底,器件可弯曲变形,便于安装在翼型表面;采用Mooney-Rivlin超弹性材料模型对气泡致动器弹性薄膜的变形进行分析,确定了不同厚度的薄膜变形高度与压力的理论关系,同时指出,在相同条件下宽度是影响气泡薄膜变形的主要因素,为气泡致动器的控制提供了参考。实验证明：所开发的气泡致动器可以有效地进行延迟分离,降低压差阻力,实现了主动流动控制。

本文对全息光栅与刻划光栅的各种特性进行了对比，并介绍了Ⅲ型和Ⅳ型全息凹面光栅的特点及制作工艺。

采用双面并行的平面工艺研制出了有源区面积5mm^2的硅漂移探测器（SDD）。这种双面并行的平面工艺使得SDD绝大部分正面和背面的pn结结构能够并行完成，极大地减少了工艺步骤，降低了器件制作的难度。对研制的SDD的漏电流、电势分布、光电子的漂移特性等进行了测量和分析，对238Pua射线源的能谱进行了测量，对正常工作状态下出现的悬空阳极电位进行了分析和讨论。报道了利用阳极漏电流、光电子漂移特性、悬空阳极电位对SDD芯片进行中测和封装前快速筛选的方法。

用钢管作为原材料加工小直径钢简体，原材料采购困难且成本较高，并增加了机械加工的劳动量及加工费用，文中提出采用另一种原材料及工艺，并通过两种工艺的比较分析，介绍了一种实用而经济的小直径钢简体制作工艺。

钳工样板或模板镶配件的制作，其尺寸公差、配合间隙等技术要求比较严格。文中根据选择的量具及测量方法合理设计和制定了加工工艺，并根据加工工艺进行了相关尺寸链的分析解算。

液压支架的立柱液压缸是影响液压支架使用寿命的重要部件，其设计、生产制作决定了使用寿命的长短，故必须从设计、生产制作、加工设备上予以保证才可能达到理想的质量要求。简要叙述了立柱液压缸主要部件的加工流程和专业装备。